蔡司三坐標測量機在維護養(yǎng)護流程之中感覺以下幾個方面情況理應(yīng)引起特別注意，這也是大家在應(yīng)用蔡司三坐標測量機的流程之中的許多經(jīng)驗和教導(dǎo)。
　　1、空氣壓力和質(zhì)量
　　蔡司三坐標測量機一般是應(yīng)用氣浮軸承，運作的小氣壓應(yīng)是0.45兆帕斯卡。在工作上應(yīng)維護氣壓在0.5-0.8兆帕斯卡相互之間，才可以確保它的良好運作。即使有時氣壓在0.45兆帕斯卡設(shè)備也可以運作，但應(yīng)在意到X、Y、Z在運作流程之中氣壓會出現(xiàn)損害，那樣氣浮塊的間距小，若是氣浮塊中有粉塵或細微微粒，會使導(dǎo)軌刮傷，比較嚴重時干擾測量精度或生產(chǎn)制造成三軸運作卡死。
　　2、導(dǎo)軌的清洗和光柵的養(yǎng)護
　　導(dǎo)軌維護干凈，要求應(yīng)用泡浸過干凈航空汽油或工業(yè)乙醇的脫脂棉或絲綢布來清洗;在裝、卸零部件時要特別留意，避免碰撞導(dǎo)軌。

　　光柵尺的養(yǎng)護直觀干擾讀值的精確度，Z軸光柵尺外露在外界環(huán)境中，而X和Y向光柵尺被外護蓋。因此要格外特別注意Z軸光柵尺，避免劃痕。應(yīng)用泡過干凈航空汽油絲綢布來清洗，讓光柵尺干燥。
　　3、過濾器的清洗
　　要按時清洗過濾器，當(dāng)察覺過濾器的濾芯出現(xiàn)變色，就得清洗。取下塑料杯、過濾網(wǎng)，用中性清潔劑（大家用四氯化碳溶液）清洗，再應(yīng)用干凈的氣體吹干。從頭開始安上后，精確測量工作壓力，有必要就調(diào)整它。
　　4、電控系統(tǒng)的維護
　　電控系統(tǒng)是蔡司三坐標測量機的關(guān)鍵部位，應(yīng)當(dāng)算是較為穩(wěn)定的，但不允許被忽略對它的檢測和維護。長期應(yīng)用，許多接口、插片有可能脫落。有一次大家察覺，在開機以后，坐標軸“Home”時犯錯誤警報，清查察覺原來是接口脫落生產(chǎn)制造成的。