蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)要人們做好日常的養(yǎng)護(hù)工作，那樣使用的時(shí)候才可以測(cè)量的更準(zhǔn)確，使用的更長(zhǎng)久，因此在維護(hù)過(guò)程中應(yīng)注意以下幾個(gè)方面：
　　1、空氣壓力和質(zhì)量
　　蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般是應(yīng)用氣浮軸承，工作中的小氣壓應(yīng)是0.45兆帕斯卡。在工作上應(yīng)保持氣壓在0.5-0.8兆帕斯卡相互之間，才可以確保蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的優(yōu)質(zhì)工作中。雖然有的時(shí)候氣壓在0.45兆帕斯卡設(shè)備也可以運(yùn)作，但應(yīng)考慮到X、Y、Z在運(yùn)作流程之中氣壓會(huì)出現(xiàn)損害，那樣氣浮塊的間距小，若是氣浮塊中有灰塵或細(xì)小微粒，會(huì)使導(dǎo)軌刮傷，比較嚴(yán)重時(shí)干擾測(cè)量精度或制作成三軸運(yùn)作卡死。
　　2、導(dǎo)軌的清洗和光柵的養(yǎng)護(hù)
　　導(dǎo)軌保持干凈，要應(yīng)用浸濕過(guò)干凈航空汽油或無(wú)水乙醇的脫脂棉或絲綢布來(lái)清洗;在裝、卸零部件時(shí)要特別留意，避免 磕磕碰碰導(dǎo)軌。

   　光柵尺的養(yǎng)護(hù)直觀干擾讀值的精密度，Z軸光柵尺外露在外界環(huán)境中，而X和Y向光柵尺被外護(hù)蓋。因此要格外留意Z軸光柵尺，避免 劃痕。應(yīng)用浸過(guò)干凈航空汽油絲綢布來(lái)清洗，讓光柵尺干燥。
　　3、過(guò)濾器的清洗
　　要按時(shí)清洗過(guò)濾器，當(dāng)看到過(guò)濾器的濾芯出現(xiàn)變色，就得清洗。取下塑料杯子、濾網(wǎng)，用中性洗滌劑（大家用四氯化碳水溶液）清洗，再應(yīng)用干凈的氣體烘干。從頭開始安上后，測(cè)量工作的壓力，有必要就調(diào)整它。
　　4、電控系統(tǒng)的保持
　　電控系統(tǒng)是蔡司三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的關(guān)鍵一部分，應(yīng)當(dāng)算是相對(duì)比較穩(wěn)定的，但不允許被忽略對(duì)它的檢測(cè)和保持。長(zhǎng)期應(yīng)用，某些接口、插片有可能松動(dòng)。有一次大家看到，在開機(jī)之后，坐標(biāo)軸“Home”時(shí)犯錯(cuò)誤警報(bào)，清查看到原來(lái)是接口松動(dòng)制作成的。