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蔡司SEM掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用

發(fā)布時間：2024-03-07 17:01:27

有人曾經(jīng)說過："如果我想得到準(zhǔn)確的尺寸，我就把被測樣品交給SEM操作員。蔡司代理三本精密儀器小編介紹，蔡司SEM掃描電鏡是一種高精密測量儀器，人們常常想當(dāng)然地認(rèn)為它是正確的，所產(chǎn)生的任何測量值也是正確的。在過去的幾年里，SEM的測量精度有了極大的提高，CD-SEM也已經(jīng)成為半導(dǎo)體加工生產(chǎn)線上監(jiān)控制造過程的主要工具之一。但是，事實還是會被掩蓋，我們必須小心謹(jǐn)慎。

間距測量

如果我們將兩條線分開一定的距離，那么測量第一條線的前緣到第二條線的前緣的距離就定義了間距或位移。間距測量中的一些系統(tǒng)誤差(由于振動、電子束相互作用效應(yīng)等)在兩個前緣上都是相同的;這些誤差，包括試樣與電子束相互作用的影響，被認(rèn)為是可以忽略的(Jensen，1980;Postek，1994)。因此，與邊緣相關(guān)的誤差有相當(dāng)大的一部分不在用于計算間距的等式中。成功測量的主要標(biāo)準(zhǔn)是測量的兩條邊緣必須在所有方面都相似。

平均多條線可以最大程度地減少校準(zhǔn)樣本中邊緣效應(yīng)造成的影響。使用精確的間距標(biāo)準(zhǔn)可以輕松完成SEM放大校準(zhǔn)。RM8820有許多間距結(jié)構(gòu)可用于此過程;可根據(jù)要求提供計算間距的軟件程序(Postek，2010 )。

寬度測量

任何納米結(jié)構(gòu)、納米粒子或半導(dǎo)體線路的寬度測量都很復(fù)雜，因為上述的許多系統(tǒng)誤差現(xiàn)在都是相加的。因此，在測量中還包括來自兩個邊緣的邊緣檢測誤差。SEM的放大倍率不應(yīng)校準(zhǔn)為寬度測量值。寬度測量會將這些誤差加在一起，導(dǎo)致測量不確定性增加。

此外，由于電子束-樣品的相互作用效應(yīng)不同，這些誤差也因樣品而異。使測量更加復(fù)雜的是，每臺SEM都會因操作條件和電子收集特性而產(chǎn)生其特有的儀器效應(yīng)。實際上，通過這種測量方法，我們并不知道圖像中邊緣的準(zhǔn)確位置，更重要的是，不知道它是如何隨儀器條件而變化的。

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